Свойство и спецификация вафля 125mono

Очищенность    6N   
Размер 125*125±0.5mm   
Диагональ 150mm   
Метод роста         CZ   
Тип проводимости тип p (данный допинг бор)   
Резистивность 0.5∼6ohm/cm (mostly0.5∼3ohm/cm)   
Ориентация <100>±3°   
Плотность ≤3*10E pits/cm2 ямы травления   
Содержание кислорода ≤1*10E18atm/cm3 (or≤20ppma)    
Содержание углерода ≤5*10E16atm/cm3 (or≤1ppma)    
Время ≥10usec жизни   
Разбивочная толщина 200±20um   
Угол между квадратом встает на сторону 90°±18'   
Разница между длиной хорд 1mm   
TTV ≤30um   
Смычок ≤70um   
Увидел Марк ≤30um   
Дефекты края ≤0.5 (d) *1 (l) mm   
Поверхность вафли обе стороны вафли как slurry отрезанной и очищенной, свободной формы, масло и эпоксидная смола etc.