Метод роста

CZ

Проводной тип

P

Dopant

B

Ориентация

100

С ориентации

±3°

Резистивность

0.5 3 Ω·cm или 3 до 6 Ω·cm

Продолжительность жизни несущей несовершеннолетия

≥10μs

Содержание кислорода

≤1.0*1018 /cm ³

Содержание углерода

  ≤2.0*1017 /cm ³

Размер

125*125±0.5mm

Раскосно

150±0.5mm

Квадратный угол сторон

90±0.5°

Streight распределяет отступление длины

21.25±1mm

Толщина

μm 200±20

TTV

≤30μm

Увидел Марк

≤20μm

Warp

≤75μm

Обломоки

Depth<0.3mm; Length<0.5mm

Возникновение

Отсутствие пятна, отсутствие Pinhole и отказов визуальным контролем