Тип

ZHD230 A

ZHD230 B

ZHD230 C

Вачуумные насосы

Насос диффузии + механически насос

Молекулярный насос + механически насос

Насос диффузии + механически насос

Самый высокий достиганный вакуум

6. 6 ×10-4Pa

6. PA 6 ×10-5

6. PA 6 ×10-4

Электропитание

2 KW

Структура электродов

Пара электродов испарения

Пара электродов испарения

Пара электродов испарения, костюм a углерод-распыляя оборудования

Типы пленки

Metal пленки, пленки окиси, диэлектрические пленки, пленки полупроводника, органические пленки, etc.

Электроды испарения

пара электродов водяного охлаждения

Камера покрытия

Размер: 230×H300 mm; Материал: стеклянная крышка; Идущий сверху вниз структура

Скорость откачки

Нагнетающ time≤20 минута (молекулярной минуты) насоса/30 (насос диффузии), от атмосферного давления к 10-3Pa

Единообразие пленки

Зыбкост толщины пленки чем 5%

Измерение вакуума

Низк-высокое цифровое составное × 1 датчика вакуума, от атмосферного давления к PA 10-5

Управление вакуума

Ручное управление

Поддержка образца

Φ80100 mm, размещает на верхней части камеры

Предохранение

Сигнал тревоги и автоматическое предохранение действуют для расхода воды, анормалной подачи, над настоящий пропускать, над напряжением тока, и электрическим выключением, etc.

Основные характеристики

KW Power≥5; Служят область: 5 m2

Рабочая Среда и условия

Опционные приборы

Водяное охлаждение & рециркулировать машины