| Номер модели: TLJ-140 |
Зоны применения: ион sputtering, который можно также использовать для другого металла sputtering
Appellation | Машина sputtering иона TLJ-140 |
Метод покрытия | Sputtering иона |
Система вакуума | Сразу роторные вачуумные насосы 2L/S лопасти |
Типы мембраны | Металлопленочно |
Структура Sputtering | Цель Φ63.5mmCircular плоская |
Стеклянное устройство обработки данных | 140mm×H140mm |
Пленки Тайвань | Φ40mm может попробовать вверх по 6 чашкам, воде, очищать способный для того чтобы попробовать anti-sputtering. |
Поднимающие вверх клапаны | Комната на верхнем покрытии облегчить газ. |
Единообразие пленки | ≤±5% |
Управление вакуума | Ручное управление /Automatic |
Отростчатый газ | Предназначенный газ воздуха или аргона, оборудованный с напуском газа аргона и микро- регулировка для взвинчивания. |
Сила | ≥5KW |
China