Оборудование диаманта низложения химического пара нити серии HF горячее химическое работает на основании метода низложения химического пара горяч-нити, и может быть использовано для того чтобы депозировать толщиные пленки диаманта, пленки нитрида кремния, и пленки двуокиси кремния, etc. они весьма соответствующи для промышленного производства и были снабжены на номенклатурах товаров много известных компаний. Используя наши оборудования, эти компании уже производили sheet-like поликристаллические вафли диаманта с большими размерами и осуществляли значительные хозяйственные преимущества от этих продуктов. В добавлении, наши оборудования также очень соответствующи для научного исследования и образования и для широкомасштабного развития новых коммерческих продучтов.

Тип

Напечатайте a на машинке

Напечатайте b на машинке

Напечатайте c на машинке

Размер камеры sputtering

Φ450×H450mm

Φ650×H770mm

Φ800×H800mm

Размер платформы субстрата

Φ150×H44mm

Φ200×H44mm

Φ300×H44mm

Высота платформы субстрата

200? 150mm

200? 150mm

200? 150mm

Тариф вращения платформы субстрата

0-20 rpm (регулируемых)

0-20 rpm (регулируемых)

0-20 rpm (регулируемых)

Размер электрода

Φ24×200mm

Φ24×200mm

Φ24×200mm

Течение через электрод

> 300 a

> 300 a

> 300 a

Сопротивление оксидации материалов

Атмосферическое сопротивление оксидации

Атмосферическое сопротивление оксидации

Атмосферическое сопротивление оксидации

Типы пленки

Толщиные пленки диаманта

Толщиные пленки диаманта

Толщиные пленки диаманта

Электропитание

Hot-wire электропитание

Hot-wire электропитание

Hot-wire электропитание

Структура камеры вакуума

Pre-раскройте вертикальные структуры, насосные системы Postposition, водяное охлаждение Двойн-слоя

Самый высокий достиганный вакуум

PA 1.0×10-3

Вачуумные насосы

Насос диффузии + укореняет насосы + механически насос + отростчатый насос

Скорость откачки

Нагнетая минута time≤30, от атмосферного давления к 10-3Pa

Единообразие пленки

Зыбкост толщины пленки чем 5%

Измерение вакуума

2 низкого, датчики одного высокие цифровые составные вакуума, датчики толщины пленки

Управление вакуума

Ручное управление или режим автоматического управления

Регулирование потока газа

Регулирование потока газа 3 дорог и соответствуя системы индикации

Предохранение

Сигнал тревоги и автоматическое предохранение действуют для расхода воды, анормалной подачи, над настоящий пропускать, над напряжением тока, и электрическим выключением, etc.

Основные характеристики

Power≥15KW; Вес: 500kg; Служят область: 8m2

Опционные приборы

Деионизированное водяное охлаждение & рециркулировать машины, управления PLC, всего ручного управления, полуавтоматного управления