Monocrystalline и multi- характеристика слитков кремния:
очищенность: 6N, 8N выше
Кристалличность | Mono кристаллическое |
Размер (mm) w | 125×125±0.5 |
Размер (mm) l | 80-350 |
Диаметр (mm) | 150×150±0.5 |
Толщина (um) | 200±20 |
TTV (um) | ≤20 |
Donor тип/Dopant | P /Boron |
Ориентация | <100>±3° |
Прямоугольный угол | 90± 0.5 |
Резистивность | 0.5-6 ома. cm |
Продолжительность жизни | ≥10 мы |
Концентрация кислорода | ≤1.0×1018 |
Концентрация углерода | ≤5×1016 |
China