Тип

TZB450A

TZB450B

TZB450C

Метод покрытия

Покрытие + бардачок испарения сопротивления

Покрытие + бардачок sputtering магнетрона

Испарение + магнетрон сопротивления sputtering + бардачок

Типы пленки

Просто вещество, пленки окисей, Dielectrics, полупроводника составные, etc.

Пленки металла/неметалла, etc.

Пленки просто вещества, пленки полупроводника, органические пленки, пленки окиси, пленки реакции, диэлектрические пленки, пленки Superconductor, Metal керамические пленки, оптически пленки, etc.

Электропитание

Электропитание Evapourate

Электропитание DC/Bipolar pulse/RF

evapourate/двухполярное электропитание ИМПа ульс

Электроды и цели

электроды

Несколько целей sputtering магнетрона

электроды, цель sputtering магнетрона

Размер камеры вакуума

Φ450×H400 mm

Структура камеры вакуума

Pre-раскройте вертикальные структуры, насосные системы Postposition, ручные нажимать-и-вытяните образ

Самый высокий достиганный вакуум

6. PA 6×10-5

Вачуумные насосы

Молекулярный насос + механически насос

Скорость откачки

Нагнетающ time≤20 минута (молекулярной минуты) насоса/50 (насос диффузии), от атмосферного давления к 10-3Pa

Единообразие пленки

Зыбкост толщины пленки чем 5%

Структура электродов

электроды

Sputtering магнетрона

электропитание ИМПа ульс + постоянное магнитное targets× 1-3

Температура выпечки workpiece

Регулируемо и controllable от комнатной температуры к °C 300 (контроль температуры PID)

Движение workpiece

0-20 rpm регулируемые и controllable stepless виток/вращение изменения скорости

Управление вакуума

Ручное управление

Измерение вакуума

Низк-высокое цифровое составное × 2 датчика вакуума

Управление вакуума

Руководство/управление PLC/PLC + HMI

Предохранение

Сигнал тревоги и автоматическое предохранение действуют для расхода воды, анормалной подачи, над настоящий пропускать, над напряжением тока, и электрическим выключением, etc.

Основные характеристики

KW Power≥12; Служят область: 9 m2; Вес: ~800 kg

Опционные приборы

Монитор толщины пленки генератора кварца, ион Hall источник, водяное охлаждение & рециркулировать машины, чистки Anti-sputtering, машины воздуха обжимая