Тип

PECVD-200

PECVD-450

PECVD-650

Размер камеры низложения

Φ230×H300 mm

Φ450×H400 mm

Φ650×H600 mm

Размер платформы субстрата

Φ100×10 mm

Φ120×12 mm

Φ150×15 mm

Тариф вращения платформы субстрата

0-20 rpm (регулируемых)

Электропитание

Электропитание RF

Вачуумные насосы

Молекулярный насос + механически насос

Самый высокий достиганный вакуум

6. PA 6 ×10-5

Типы пленки

Диэлектрик/полупроводник/металлопленочное

Регулирование потока газа

3-4 регулирование потока газа дороги (опционное)

Камера вакуума

Pre-раскройте вертикальные структуры, насосные системы Под-положения

Скорость откачки

Нагнетая минута time≤30, от атмосферного давления к 10-3Pa

Единообразие пленки

Зыбкост толщины пленки чем 5%

Измерение вакуума

Датчики вакуума цифров составные, измерение вакуума колебаясь от атмосферного давления к PA 10-6

Управление вакуума

Имеющееся руководство/управление PLC/PLC+HMI (опционное)

Предохранение

Сигнал тревоги и автоматическое предохранение действуют для расхода воды, анормалной подачи, над настоящий пропускать, над напряжением тока, и электрическим выключением, etc.

Основные характеристики

KW Power≥10; Служят область: 4-20 m2; Вес 100-800 kg

Опционные приборы

Водяное охлаждение & рециркулировать машины, остаточного газоанализатора