Appellation

Лакировочная машина серии TSU многофункциональная

тип

Тип

Тип b

Тип c

размер камеры

Φ800mm×H800mm

Φ1000mm×H1000mm

Φ1200mm×H1200mm

Электропитание

3000W двухполярный ИМП ульс generator*2

Multi-Дуга target*2 силы 4000W

цель *1 силы силы *1 испарения 1000W электромагнитная

4000W двухполярный ИМП ульс generator*2

Multi-Дуга target*4 силы 4000W

сила *1 испарения 2000W

Электромагнитная цель *1 силы

5000W двухполярный ИМП ульс generator*2  

4000W сила *1 испарения Multi-Дуги target*8 3000W

 Электромагнитная цель *1 силы

Структура цели Sputtering

цель *1+Φ60mmElectromagnetic target*1+ прямоугольное targets*2 +Φ65mmMulti-Arc target*2 испарения electrodes*2 +Φ50.8mm водяного охлаждения постоянная магнитная

Multi-Дуга target*4 цели *1+Φ60mm электромагнитная target*1+ прямоугольная targets*2+Φ65mm испарения electrodes*2+Φ50.8mm водяного охлаждения постоянная магнитная

Multi-Дуга target*8 цели *1+Φ60mm электромагнитная target*1+ прямоугольная targets*2+Φ65mm испарения electrodes*2+Φ50.8mm водяного охлаждения постоянная магнитная

Камера вакуума

Вертикаль Pre-раскрывает структуры, вращение вращения деятельности backWorkpiece систем вентиляции modePublic, 0~20rpm, регулируемый контролируемый ряд измерения датчика вакуума CVTVacuum measurementDigital составной от атмосферического к 10-5Pa

Метод покрытия

Низложение +Evaporation плазмы испарения +multi-arc sputtering магнетрона

Отрицательное напряжение смещения

0-1000V 12KW20KW

Режим покрытия

Metal пленки, пленка реакции, магнитная пленка, разнослоистая пленка, диэлектрическая пленка, органическая пленка, покрытие порошка, etc.

Стандарт Workpiece

Имеющиеся водяное охлаждение, нагревать, виток и вращение способный для того чтобы попробовать монитор толщины.

Давление на опорную поверхность

8×10-5Pa или 8×10-4Pa

Элементы системы вакуума

молекулярное pump+ укореняет насос + механически насос или насос диффузии + насос корней + механически насос

Скорость откачки

чем или равный к 20min от воздуха к 10-3Pa

единообразие мембраны

≤±5%

Цель и сила цели

Использование 30%~60% цели

Температура выпечки Workpiece

Регулируемая контролируемая комнатная температура к 200 ° c (контроль температуры PID)

Управление вакуума

Тип ручн, BC тип режим автоматического управления

управление газа

3 комплекта системы управления газа, ± 0.1sccm точности регулирования потока 5L/3L/2L газа.

предохранение

Оборудование управляется, под уплотнением, подача, приборы предохранения от перенапряжения

power≥20KW, area9m2

Приборы варианта

Источник иона Hall приборов толщины генератора кварца, и машины обеспечивая циркуляцию воды нагнетают, PLC, управление ПК, anti-laundering sputtering