Тип

ZHD450 A

ZHD450 B

ZHD450 C

Метод покрытия

Покрытие испарения сопротивления

Покрытие испарения сопротивления/луча электронов

Испарение сопротивления + sputtering магнетрона

Типы пленки

Органические пленки или пленки etc. металла

Разнослоистые пленки, различные пленки фильтра, пленки отражения, пленки передачи? etc.

Одиночные пленки вещества, пленки полупроводника, органические пленки, пленки окиси, пленки реакции, диэлектрические пленки, пленки полупроводника, приборы OLED, etc.

Электропитание

Электропитание Evapourate

Электропитание Evapourate, электропитание электронной пушки

Электропитание Evapourate, электропитание ИМПа ульс

Электроды и цели

электроды

электроды, e-тип электронная пушка

электроды, цель sputtering магнетрона круговой плоскости

Управление вакуума

Имеющееся руководство/управление PLC/PLC+HMI (опционное)

Размер камеры вакуума

Φ450×H500 mm

Камера вакуума

Pre-раскройте вертикальные структуры, насосные системы Postposition, ручные нажимать-и-вытяните образ

Вачуумные насосы

Насос молекулярных/диффузии + механически насос

Скорость откачки

Нагнетающ time≤20 минута (молекулярной минуты) насоса/50 (насос диффузии), от атмосферного давления к 10-3Pa

Единообразие пленки

Зыбкост толщины пленки чем 5%

Структура электродов

Электроды водяного охлаждения

Температура выпечки workpiece

Регулируемо и controllable от комнатной температуры к °C 300 (контроль температуры PID)

Движение workpiece

0-20 rpm регулируемые и controllable stepless виток/вращение изменения скорости

Измерение вакуума

2 цифровых составных датчика вакуума

Предохранение

Сигнал тревоги и автоматическое предохранение действуют для расхода воды, анормалной подачи, над настоящий пропускать, над напряжением тока, и электрическим выключением, etc.

Основные характеристики

KW Power≥12; Служят область: 12 m2; Вес: ~1200 kg

Опционные приборы

Монитор толщины пленки генератора кварца, водяное охлаждение & рециркулировать машины