Машина вакуума------Сила ИМПа ульс серии частиц оборудования sputtering магнетрона multi-камеры JGCF-350 комната non-symmetric двухполярные/RF/прибор/pre-treatment вибрации/комната постпроцессирования/система вакуума/регулятор потока газа. Частицы порошка главным образом использованы в мембране плакировкой, пленке полупроводника, составной пленке, пленке, средствах, разнослоистом покрытии.
Методы покрытия | Магнетрон RF sputtering/несимметричный двухполярный sputtering магнетрона ИМПа ульс |
Типы пленки | Metal пленки, диэлектрические пленки, пленки реакции, пленки окиси |
Электропитание | электропитание ИМПа ульс; |
Структура цели sputtering | постоянная магнитная цель |
Камера вакуума | Pre-раскройте вертикальные структуры, насосные системы Postposition |
Самый высокий достиганный вакуум | Молекулярный насос (PA 6.6×10-5); Насос диффузии (PA 6.6×10-4) |
Вачуумные насосы | Молекулярный насос + механически насос |
Скорость откачки | Нагнетая минута time≤20, от атмосферного давления к 10-3Pa |
Единообразие пленки | Зыбкост толщины пленки чем 5% |
Режим деятельности workpiece | Виток, 0? изменение скорости 20 rpm stepless (регулируемо и controllable) |
Измерение вакуума | Датчики вакуума цифров составные |
Управление вакуума | Имеющееся ручное управление /PLC/PLC +HMI |
Регулирование потока газа | Регулирование потока газа 2-3 дорог |
Предохранение | Сигнал тревоги и автоматическое предохранение действуют для расхода воды, анормалной подачи, над настоящий пропускать, над напряжением тока, и электрическим выключением, etc. |
Основные характеристики | Power≥12KW; Служят область: 10m2 |
Опционные приборы | Монитор толщины пленки генератора кварца, ион Hall источник, отрицательное смещение, водяное охлаждение & рециркулировать машины |
China
Просмотреть по алфавиту:
Все товары,
импортёры,
Китай,
Страны
Группа Алибаба: Alibaba.com: Alibaba китай
- Alibaba международный
- Alibaba Япония
| Taobao
| Alipay
| Yahoo! китай
| Koubei.com
| Alisoft
| Alimama
Смотреть более похожие продукции
Смотреть менее похожие продукции