Appellation

Серия передатчиков ультравысокого вакуума JGMR

Камера глубокия вакуума

Φ200mm×L300mm

Камера ультравысокого вакуума

Φ200mm×L450mm

Структура электрода

Катод, комплект анода

магнитный полюс передачи

Φ25mm×L1100mm

Давление на опорную поверхность (камера глубокия вакуума.)

8×10-5Pa

Давление на опорную поверхность (типичная камера вакуума.)

8×10-8Pa

Структура камеры вакуума

Молекулярный насос + конденсатный насос + механически насосы

Скорость откачки

чем или равный к 20min от воздуха к 10-3Pa

Управление вакуума

Ручное управление /Automatic

управление газа

3 комплекта системы управления газа, ± 0.1sccm точности регулирования потока 5L/3L/2L газа.

предохранение

Оборудование управляется, под уплотнением, подача, приборы предохранения от перенапряжения

Основные технические параметры

power≥20KW, area6m2

Приборы варианта

Источник иона Hall приборов толщины генератора кварца, и машины обеспечивая циркуляцию воды нагнетают, PLC, управление ПК, anti-laundering sputtering