машина вакуума -------Серия TEMD лакировочной машины электрон-луча оптически главным образом для multi-покрытия, производящ фильтр, отражательная пленка, пленка передачи. Согласно потребности увеличить или улучшить распределение выбранных элементов как вачуумные насосы, криогенные насосы; Распределение низкотемпературной ловушки камеры вакуума; управление толщины используя регулятор толщины кристалла кварца; ион-помогать источники низложения, как бомбардировка RF. Материалы испарения луча электронов неограниченные основные: испарение, и ряд регулировки тарифа испарения луча электронов плотности наивысшей мощности: польза тигельной плавки испарения воды или частично материалов испарения, упаковочных материалов во избежание материалы испарения и низложения и упаковочный материал, реакция между пленками особой чистоты. Применитесь к институтам научного исследования и предпринимательствам оптически продукции тонкой пленки.
Напечатайте на машинке | TEMD-550 | TEMD-650 | TEMD-800 | |
Размер камеры вакуума | Φ550×H600 mm | Φ650×H700 mm | Φ800×H800 mm | |
Самый высокий достиганный вакуум | PA 6×10-5 | |||
Скорость откачки | Нагнетая минута time≤20, от атмосферного давления к 2×10-3Pa | |||
Источник испарения | Сила электронной пушки | 6 KW | ||
Том тигля | отверстие 20 ml×4 | |||
Сила испарения сопротивления | 2.5 KW | |||
Электроды водяного охлаждения | 2 пары (испаритесь альтернативно) | |||
Температура выпечки | °C 300 (трубчатые приборы топления) | |||
Состав системы вакуума | Насосная система 1600 L/S молекулярная | Насосная система 1600 L/S молекулярная | Насосная система диффузии K-600 | |
Измерение толщины пленки | Монитор толщины пленки генератора кварца | |||
China