Модель | TS-900CJX | TS-1000CJX | TS-1250CJX | TS-900LDM | |
Применения | Декоративное покрытие металла | Декоративное покрытие металла | Декоративное покрытие металла | Инструмент & умирает покрыть | |
Камера | Том камеры | 900×900×1000mm | 1000×1000×1000mm | 1250×1250×1400mm | 900×900×1100mm |
Структура | Box-type, pre-раскройте дверь | Box-type, pre-раскройте дверь | Box-type, pre-раскройте дверь | Box-type, pre-раскройте дверь | |
Несущая | Роторная скорость | 1-15rpm | 1-15rpm | 1-10rpm | 1-10rpm |
Несущая субстрата | Виток или планетарное | Виток или планетарное | Виток или планетарное | Виток или планетарное | |
Режим покрытия | Электропитание | DC или MF | DC или MF | DC или MF | DC или MF |
Цель | Прямоугольно или кругово | Прямоугольно или кругово | Прямоугольно или кругово | Прямоугольно или кругово | |
Система газа поручая | Давление controller+MFC | Давление controller+MFC | Давление controller+MFC | Давление controller+MFC | |
Другие опционные компоненты | источник Muti-дуги, источник иона, система отопления, монитор etc. толщины пленки | источник Muti-дуги, источник иона, система отопления, монитор etc. толщины пленки | источник Muti-дуги, источник иона, система отопления, монитор etc. толщины пленки | источник Muti-дуги, источник иона, система отопления, монитор etc. толщины пленки | |
Контролируя режим | Автоматическо | PLC или IPC | PLC или IPC | PLC или IPC | PLC или IPC |
Ручно | Ручно | Ручно | Ручно | Ручно | |
Насосная система | Спасение вакуума | 5×10-3Pa20min | 5×10-3Pa20min | 5×10-3Pa20min | 5×10-3Pa20min |
Типичное давление | 5×10-4Pa | 5×10-4Pa | 5×10-4Pa | 5×10-4Pa | |
China